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氯磺酸的生產采用三氧化硫與氯化氫氣體進行反應


創建時間 2015-06-05 09:58:38
    氯磺酸主要用于制造磺胺類藥物和糖精,也用于制造農藥、洗滌劑、離子交換樹脂、塑料及有機會成中的磺化劑。氯磺酸的生產采用三氧化硫與氯化氫氣體在130~230℃下進行反應,經冷卻、分離制得成品。
    SO3+HCl→ClSO3H
    化學級氯化氫產品生產裝置于1993年投產,經山東省科委鑒定,主要用于醫藥中間體、農藥及精細化學品制造業。電子級(VLSI)氯化氫產品生產裝置于2003年投產,經北京市科委鑒定,主要用于半導體器件生產中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質合金制造。5.0N電子級(VLSI)氯化氫產品分別經國家標準物質研究中心和信息產業部專用材料質量監督檢驗中心抽樣檢驗,純度大于99.999%,總雜質含量小于5ppm,產品性能指標與國 際品牌相當。5.0N電子級(VLSI)氯化氫產品經國內外多家半導體重點企業連續大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用,制得的器件產品質量與國際知名品牌相當。超純氯化氫產品生產裝置于2005年投產,目前處于試銷階段,主要用作標準物質和科學研究。

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