高純氣體多危險性極強，所以，不管是承裝容器還是輸送管道都需要特殊的質量及安裝要求。 

  （1）根據用氣設備的分布情況，高純氣體的管網不宜過大或者過長。 

  （2）管路中應減少不流動氣體的“死空間”，不應設有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置。 

  （3）對于不同特性的氣體，要規劃獨立的供應區域，一般分為三個區：腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區。 

  （4）對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送系統。 

  （5）管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S。 

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